Общая характеристика вакуумных насосов. Принципы действия и разновидности ионных насосов. Применение технологии MEMS как множества микроустройств разной конструкции и назначения на базе микроэлектроники, в конструкциях и системах управления насосами.
Аннотация к работе
Ионные насосы в технологии MEMS Оглавление Общая характеристика вакуумных насосов Ионные насосы Ионные насосы с горячим катодом Ионно-сублимационный насос с подачей титана Ионно-сублимационные триодные насосы Электростатический ионно-сублимационный насос Ионные насосы с холодным катодом Насосы, основанные на принципе ионно-сорбционной откачки Технология MEMS Общая характеристика вакуумных насосов Все вакуумные насосы можно разделить на высоковакуумные и низковакуумные, а по физическому принципу действия - на механические, сорбционные, ионные. Среди механических насосов выделяют объёмные и молекулярные, основанные на передаче количества движения молекулам газа от движущихся поверхностей. Насосы объёмного типа осуществляют откачку за счёт периодического изменения объёма рабочей камеры. Этот тип вакуумных насосов появился раньше остальных и получил широкое применение в различных конструкциях: поршневая, жидкостно-кольцевая и ротационная. Среди насосов с передачей количества движения молекулам газа различают: вод