Характеристики современных сканирующих электронных микроскопов, особенности их устройства и работы. Назначение, типы, марки сканирующей электронной микроскопии. Vega 3 LM - сканирующий электронный микроскоп с термоэмиссионным вольфрамовым катодом.
Аннотация к работе
1. Анализ состояния сканирующей электронной микроскопии 1.1 Назначение, типы, марки, классификация сканирующей электронной микроскопии 1.2 Устройство и работа сканирующего электронного микроскопа 2. Основные характеристики современных сканирующих электронных микроскопов 2.1 Микроскоп VEGA 3 LM 3. Они установлены в ведущих нанотехнологических центрах России, таких как: Институт кристаллографии РАН; Московский физико-технический институт (государственный университет); Южный Федеральный университет (бывший Таганрогский радиотехнический университет). 1. Сканирующая электронная микроскопия обладает рядом преимуществ по сравнению с другими методами. Детальное изучение структуры позволит понять характер различных физико-химических процессов, происходящих при электроосаждении металлов, а также выяснить роль технологических факторов, влияющих на протекание этих процессов [1]. 1.1 Назначение, типы, марки, классификация сканирующей электронной микроскопии Электронная микроскопия - совокупность электронно-зондовых методов исследования микроструктуры твердых тел, их локального состава и микрополей (электрических, магнитных и др.) с помощью электронных микроскопов - приборов, в которых для получения увеличения изображений используют электронный пучок. Существуют несколько видов электронных микроскопов: просвечивающий электронный микроскоп; просвечивающий растровый (сканирующий) электронный микроскоп; растровая (сканирующая) электронная микроскопия.