Главная характеристика принципа работы графенового сенсора. Использование метода термического разложения карбида кремния в вакууме. Анализ осуществления нагрева пленок графена для десорбции молекул газа. Особенность измерения его газочувствительности.
Аннотация к работе
Однако, несмотря на ряд достоинств, низкая стоимость изготовления, простота конструкции, указанные сенсоры имеют относительно низкую чувствительность, селективность, потребляют значительную энергию, необходимую для подогрева сенсора [5-6]. Чувствительность таких датчиков ограничена флуктуациями, обусловленными тепловым движением зарядов и дефектов, в результате чего присутствует высокий уровень шума. На данный момент существует несколько методов получения пленок графена: механическое отслаивание, химическое отслаивание, химическое отслаивание и восстановление оксида графена, химическое осаждение из газовой фазы, термическое разложение карбида кремния в вакууме. Необходимый топологический рисунок графена на полуизолирующем карбиде кремния был получен виде змейки с помощью нанесения до отжига защитной пленки оксида алюминия, под которой, в процессе отжига, графен не образуется. В работе исследовалась чувствительность пленок графена к газу NO2 и парам C2H5OH в зависимости от температуры.
Список литературы
1. Кравченко Е.И. Петров В.В. Стегленко Д.В. Бычкова А.С. Исследование свойств газочувствительных материалов состава SIO2SNOXCUOY, используемых в сенсорах газов мультисенсорной системы мониторинга атмосферного воздуха // «Инженерный вестник Дона», 2012.
2. Бутурулин А.И. и др. Газочувствительные датчики на основе металлооксидных полупроводников [Текст] // Зарубежная электронная техника, 1989. - №10. - C.3-38.
3. Арутюнян В.М. Микроэлектронные технологии - магистральный путь для создания химических твердотельных сенсоров [Текст] // Микроэлектроника, 1991. - №4. - С.337-355.
4. Евдокимов А.В. и др. Микроэлектронные датчики химического состава газов [Текст] // Зарубежная электронная техника, 1988. - №2. - С.3-39.
5. Фрайден, Дж. Современные датчики. Справочник [Текст] / Дж. Фрайден. - М.: Техносфера, 2006. - 588 с.
7. Pearce R., et al., Epitaxially grown graphene based gas sensors for ultra sensitive NO2 detection [Text] // Sens. Actuators B: Chem., 2011. - №5. - P.768-771.
8. Ko G. et al. Graphene - based nitrogen dioxide gas sensors [Text] // Current Applied Physics, 2010. - №10. - P. 1002-1004.
9. Лебедев и др. Формирование наноуглеродных пленок на поверхности SIC методом сублимации в вакууме [Текст] // Физика твердого тела, 2009. - №4. - C.452 -454.
10.Волькенштейн Ф.Ф. Электроны и кристаллы [Текст] / Ф.Ф. Волькенштейн. - М.: Наука, 1983. - 128 с.