Физико-математическое моделирование многоэтапных процессов формирование одномодовых интегрально-оптических волноводов в стекле K-8 методом ионного обмена - Статья
Методы формирования оптических микроструктур в стекле. Формирование пассивных одномодовых волноводных структур в стекле. Расчет влияния времени заглубления на форму частично заглубляемого канала. Контуры распределения показателя преломления волновода.
Аннотация к работе
Физико-математическое моделирование многоэтапных процессов формирование одномодовых интегрально-оптических волноводов в стекле K-8 методом ионного обменаПроведено физико-математическое моделирование многоэтапных процессов формирования волноводов в стекле K-8 на основе совместного решения двумерного уравнения диффузии, уравнения электростатики и волнового уравнения. Формирование пассивных одномодовых волноводных структур в стекле состоит из последовательности этапов: термического ионного обмена; заглубления волновода путем стимулированной миграции ионов; термического отжига волновода. Процесс формирования волновода производится путем ионного обмена Ag «Na в стекле, помещенном в расплав смеси солей AGNO3:NANO3. Описывающее любой этап данного технологического процесса уравнение диффузии имеет вид [3, 5]: , (1) где CAG - относительная концентрация внедряемого иона серебра , CAG=CAG/c0, CAG - концентрация ионов серебра, c0 - начальная концентрация ионов натрия в стекле; DAG - собственный коэффициент диффузии ионов серебра, M - отношение собственных коэффициентов диффузии ионов серебра и натрия, М=DAG/DNA; q, f, k, T - заряд электрона, коэффициент корреляции, постоянная Больцмана и температура по Кельвину соответственно. t - время диффузионного процесса. Волновод, полученный путем термического ионного обмена Ag «Na из расплава солей AGNO3:NANO3 (1:10) через маску с шириной щели 2 мкм в течении 15 минут при температуре 380 ОС, заглубленный за время 1500 с при той же температуре на уровень 9 мкм при стимулирующем напряжении 350 В и, в заключении, подвергнутый отжигу при указанной температуре в течении 50 минут, обладает профилем показателя преломления, аппроксимируемым двумерной гауссовой функцией со следующими параметрами: приращение показателя преломления волновода Dn=0.0057, эффективная ширина и высота 2dx=8.6 мкм, 2dy=8.0 мкм.