Методи створення селективних сенсорів. Ефект залежності провідності плівки напівпровідникових оксидів металів від зміни навколишньої атмосфери. Види адсорбції. Природа адсорбційних сил. Установка для вимірювання вольт-амперних характеристик сенсора.
Аннотация к работе
Зміна електропровідності полікристалічного напівпровідника при його взаємодії з газовим середовищем відбувається завдяки процесам, що мають місце на межі поділу напівпровідника і газової фази. Основним підходом до побудови сенсорних систем, що володіють селективністю, є створення матриць із сенсорів, кожний з який має високу чутливістю до якого-небудь визначеного газу. Такий матричний сенсор буде «відчувати» стільки газів, скільки він має елементів. Подібна сенсорна матриця має унікальний набір опорів майже для будь-яких навколишніх середовищ, що достатньо різняться своїми складами, за рахунок того, що хоча кожен елемент реагує практично на всі гази, його реакція при цьому відрізняється від реакції інших елементів. На жаль, розглянуті сенсори мають низьку селективністю до різних газів, по зміні їхнього опору неможливо визначити який газ викликала його, можна сказати лише, що в навколишнім середовищі зявився відновлювач.