Дослідження величин і характеру нелінійних геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень на підставі вимірювань зображень спеціального еталонного тест-об’єкта з роздільною здатністю. Точність врахування геометричних спотворень цифрових РЕМ-зображень.