Аналіз впливу теплових умов на структурну досконалість монокристалів кремнію і розробка теплового вузла для вирощування бездефектних зливків у промислових умовах - Автореферат
Визначення впливу теплових умов на розподіл щільності мікродефектів і нерівномірність розподілу кисню по довжині монокристалів кремнію. Розробка моделі, що забезпечує визначення технологічних параметрів процесу вирощування монокристалів кремнію.
Аннотация к работе
КРЕМЕНЧУЦЬКИЙ УНІВЕРСИТЕТ ЕКОНОМІКИ, ІНФОРМАЦІЙНИХ ТЕХНОЛОГІЙ І УПРАВЛІННЯ Вашерук Олександр Васильович УДК 669.162.238 661.68 Автореферат дисертації на здобуття наукового ступеня кандидата технічних наук АНАЛІЗ ВПЛИВУ ТЕПЛОВИХ УМОВ НА СТРУКТУРНУ ДОСКОНАЛІСТЬ МОНОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ І РОЗРОБКА ТЕПЛОВОГО ВУЗЛА ДЛЯ ВИРОЩУВАННЯ БЕЗДЕФЕКТНИХ ЗЛИВКІВ У ПРОМИСЛОВИХ УМОВАХ Спеціальність 05.27.06 - Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки Кременчук - 2006 Дисертація є рукописом. Науковий керівник: доктор технічних наук, професор Оксанич Анатолій Петрович, Кременчуцький університет економіки, інформаційних технологій і управління, завідувач кафедри компютеризованих систем автоматики. Автореферат розісланий “21” квітня 2006р. Вчений секретар спеціалізованої вченої ради С. Е. Притчин. Розвязання проблеми підвищення якості монокристалів кремнію вважається однією з першочергових задач розвитку технології напівпровідникової електроніки. Значна частина монокристалів кремнію для напівпровідникового виробництва вирощується методом Чохральського. Збільшення діаметру вирощуваних монокристалів кремнію при незмінному тепловому вузлі викликає порушення теплового балансу на границі поділу розплав - кристал в ростовій системі, що призводить до порушення структурної досконалості вирощуваного монокристалу. Розподіл теплового потоку в ростовій установці і вирощуваному монокристалі суттєво залежить від маси завантаженої шихти, форми і розмірів тигля, способу нагріву, системи екранування. Робота виконувалася автором на кафедрі комп’ютеризованих систем автоматики Кременчуцького університету економіки, інформаційних технологій і управління (КУЕІТУ) відповідно до міжвідомчої науково-технічної програми “Нанофізика і наноелектроніка”, науково-технічної програми “Електроніка - 2005” і повязана з реалізацією наступних науково-дослідних робіт: госпдоговірною НДОКР “Автоматизована система управління процесом вирощування монокристалів кремнію методом Чохральського АСУ “Кремінь”, госпдоговір 4/20 ВП від 30.08.2002 р., замовник - ДП “Завод чистих металів” ВАТ “Чисті метали”; госпдоговірною НДР “Розробка стійки управління процесом вирощування монокристалів кремнію по методу Чохральского”, госпдоговір 2/02 ВП від 12.12.2002 р., замовник - ДП “Завод чистих металів” ВАТ “Чисті метали”; НДР “Розробка способів і методів експрес-контролю структурної недосконалості в зливках монокристалічного кремнію і арсеніду галію”, державний реєстраційний номер 0106V000055; НДР “Дослідження впливу процесів тепломасопереносу на електрофізичні і структурні властивості монокристалічного кремнію і арсеніду галію в процесі їх вирощування”, державний реєстраційний номер 0106V000056. В роботах, виконаних у співавторстві, особисто Вашеруку О. В. належать наступні наукові результати: В роботі [2] - особисто автору належить аналіз впливу теплових умов на вирощування бездефектних зливків кремнію великого діаметру.